3月26日至28日,上海世界半导体博览会SEMICON CHINA 2025在上海新世界博览中心隆重举行。作为国内抢先的晶圆传输设备供货商,泓浒(姑苏)半导体科技有限公司(以下简称“泓浒半导体”)携多款晶圆传输机器人及AMHS设备露脸展会,展示了其在国产半导体配备中心零部件技能的打破性开展。
为期三天的展会上,泓浒半导体展台热度持续火爆,招引了很多客户,业界专家、合作伙伴、出资人和职业媒体的停步与注重。工作人员向我们热心介绍公司状况和产品,共享前沿技能、沟通名贵的职业经历,火热讨论职业开展趋势。
其间,真空洁净机器人-五轴单臂四Blade,可对应非发散型腔体一起高速变距转移4片晶圆,适用于当时最先进的8~12腔大型真空工艺设备。
真空洁净机器人-四轴双臂四Blade,可一起高速转移4片晶圆,现已大范围的应用于干流真空工艺解决方案。
真空洁净机器人-三轴单臂双Blade,旋转半径小,很多应用于紧凑尺度规划的高真空工艺解决方案。
大气洁净机器人-四轴双臂双翻转Blade,可对应晶圆翻转及360°全方位转移,特别的拐点传输方法可应对更杂乱的场景需求。
与此一起,泓浒安身半导体晶圆传输机器人和传送设备,不断打磨机器人硬件及操控技能,与OHT、AMR等AMHS设备完美配套,共建半导体晶圆传输主动化工业链生态。
泓浒半导体成立于2016年,一直扎根于半导体传送设备与要害零部件范畴,主营业务包含晶圆传输设备及部件、修理立异、耗材及配件交易。在竞赛十分剧烈的商场环境中,公司凭仗持续立异的精力和强壮的研制实力,不断获得打破性效果。2019年,公司首先完结Sorter(主动倒片机)和EFEM的量产;2022年打破SMIF(规范机械接口)和VTM技能壁垒;2023年,其自主研制的真空机械手臂完结量产工艺验证;2024年,中心部件量产交给。
现在,泓浒半导体已具有超200项自主知识产权,其间发明专利(已授权)达90项,发明专利(正在受理和实审)超100项,软件著作权(已授权)达30项,实用新型/外观专利(已授权)达60项。其产品已服务超 100 家客户,包含硅片制作、集成电路制作、半导体封测、半导体设备等多个范畴,包含中欣晶圆、华润微电子等知名企业。
近年来,国内厂商对半导体供应链安全注重程度逐渐的提高,部分 Fab 厂开端注重设备厂商中心部件的国产化份额,一起国内晶圆厂的扩产也为国产设备零部件厂商带来了宽广商场空间。面临应战与机会,泓浒半导体坚持将自主研制与立异作为公司开展的中心驱动力,分外的注重技能攻关和人才培养。
泓浒半导体作为国家专精特新 “小伟人” 企业和姑苏市 “独角兽” 培养企业,在半导体晶圆传输设备范畴深耕不辍,以立异驱动开展,为半导体工业高水平质量的开展注入微弱动力。未来,泓浒半导体将持续秉持初心,在晶圆传输设备和零部件范畴不断探究立异,谋求新打破,为推进半导体设备国产化进程奉献更多力气。回来搜狐,检查更加多